
4月9日起集中水冷系统维护通知
来源:admin 更新时间:2025-04-09 22:56:02

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由于水冷系统维护,量子所一楼低温工厂的牛津低温系统2套、纳米工厂的AttoDry系统、磁控溅射、氩离子刻蚀3套设备暂停使用,恢复时间另行通知。
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4月9日起集中水冷系统维护通知
来源:admin 更新时间:2025-04-09 22:56:02
由于水冷系统维护,量子所一楼低温工厂的牛津低温系统2套、纳米工厂的AttoDry系统、磁控溅射、氩离子刻蚀3套设备暂停使用,恢复时间另行通知。