本测试平台搭配有Keysight B1500A半导体器件分析仪、Keysight 33600A、Keysight DSOX6004A、Keithley 2400数字源表等。

其中Keysight B1500A半导体器件分析仪主要配置及技术参数如下：

1）配置清单：

1.主机可配置和可升级测量模块，每个主机有10个插槽

2.电流测量分辨率：10fA

3.电压测量分辨率：0.5uV

4.电压电流输出范围：100V/0.1A

5.源表模块最小脉宽 ：500us

6.源表模块分辨率：100us

7.可4 象限工作

8.可采用泄漏电流补偿法进行的精确准静态电容电压（QS- CV）测量

9.公共电压和接地电压之间的最大电压：≤ ±42 V

10.脉冲模块：2个通道

11.脉冲模块电流测量精度：±（0.1%的读数±0.2%的范围）

12.脉冲模块电流测量分辨率：0.014%的范围

13.脉冲模块电流测量噪声：范围的最大0.2%

14.脉冲模块电压测量精度：±（0.1%的读数±0.1%的范围）

15.脉冲模块电压测量精度：±（0.1%的读数±0.1%的范围）

16.脉冲模块电压测量分辨率：680 μV (-5 V至+5 V范围）1.4 mV (-10 V至+10 V范围）

17.脉冲模块电压测量噪声：最大4 mVrms (-5 V至+5 V范围）

18.脉冲模块可具备 10 ns分辨率可编程波形

19.脉冲模块支持200 MSa/s 同时高速测量

20.脉冲模块采样率：5ns

21.脉冲模块支持10 V 峰峰值输出

22.采用动态SMU技术进行精确脉冲IV测量

23.支持无负载线效应

24.支持 NBTI/PBTI、RTN 等先进应用

25.GPIB、USB、LAN接口、VGA视频输出端口